先普-专注为半导体行业提供ppt级气体纯化产品。上海先普气体技术有限公司是经国家认定的高新技术企业和上海市专精特新企业,是一家专业从事应用于半导体行业的气体纯化设备供应商,在充分掌握国际先进气体纯化核心技术的基础上,不断的研究创新。

先普的GC Pure系列载气纯化器由纯化单元和电控单元两部分所组成。纯化单元主要由吸气剂 (Getter)单元、气体管路和加热器所组成。纯化器采用化学反应的方法在高温下将工艺气体中杂质去除,从而达到高纯度的要求,其产品已成功应用于若干12寸线先进制程的大型芯片厂的厂务端和工艺端(如光刻、外延等工艺)。